熱場發射掃描式電子顯微鏡
熱場發射掃描式電子顯微鏡熱場發射掃描式電子顯微鏡 Thermal Field-Emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM)乃是利用高能量電子束撞擊試片，接收其產生訊號並輸出成影像，以進行高倍率與解析度的顯微觀察和快速元素組成分析，目前可廣泛應用於地質、生物、醫學、動物、材料、物理、化學、機械、冶金、電機、半導體等領域。
儀器規格
- 電子槍：Schottky 熱場發射
- 加速電壓：0.5 – 30 kV
- 探測電流：10-12~2×10-7 A
- 真空模式：高真空模式(< 2.8×10-4Pa)
- 影像解析：1.2 nm(~650,000x)@ 30 kV；3.0nm@1kV
- 載台規格：X= 70 mm / Y= 50 mm / 工作距離 = 3~41 mm
- 傾斜角度：-5°~70°
- 旋轉角度：連續360°
濺鍍機 Sputter鉑/白金 Platinum (≒0.2 atm)
碳 Carbon (0.04~0.08 atm)
